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半导体制造中的压力变送器:必须满足超高纯要求

纯净
在超高纯压力变送器的生产过程中,为了避免污染,必须保证尽可能高的洁净度。基于此,我们在符合ISO 5标准的洁净室中制造用于半导体生产的传感器,并先后使用蒸馏水和异丙醇进行双重清洗,以去除生产残留物。在进行干燥后,再次使用超纯气体进行冲洗。随后,对仪表进行双重包装,以确保压力变送器能够以无污染状态进入客户的洁净室。

密封性
由于采用了精心控制的轨道焊接工艺,整个超高纯产品系列泄漏率非常低。为进行验证,所有仪表均需经过氦泄漏测试,并重点关注超高纯压力变送器和应用之间的连接处,尤其是密封处。基于纯度方面的要求,传统的聚合物密封并不能满足条件。这种密封无法避免气体逸出,进而会造成过程污染。我们选择带有唇形密封的螺纹连接,并在唇形密封之间放置一个金属密封件。由于金属密封件由比螺纹连接本身更软的材料制成,因此可适应唇形密封的轮廓。基于此,可保证过程连接的安全性。

材料
由于半导体生产对纯度有一定要求,因此超高纯压力变送器必须保持相应的表面质量。而这主要通过使用特别均匀且无夹杂物的不锈钢来实现。这种被称为“双熔体”的材料通过在真空下熔化来获得高质量性能。电抛光工艺可确保接液部件表面光滑、均匀。为实现该目的,我们将工件置于电解质溶液中,并作为阳极连接。这一电化学反应具有双重作用:进行材料去除,并形成平均表面粗糙度≤13µm的表面。同时,形成氧化层,使表面钝化。不锈钢部件的耐腐蚀性和耐点蚀性也随之增强。

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参展商: WIKA China

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