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German Pavilion at
SEMICON China 2022

什么是德国馆?

2022 年 6 月 15 日至 17 日 – 中国上海

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新闻和创新

德国参展商公布的新闻和创新

Cables and Cable Solutions for the Semiconductor Industry

Extreme flexibility thanks to innovative cable design and application-specific material selectionMany industries and applications require increasingly complex and largely particle-free components and systems. BizLink Tailor-Made Products supplies clean room cables for production areas and meets all requirements up to air…

参展商: BizLink elocab GmbH

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PVA水晶种植系统有限公司获得世创电子材料股份公司颁发的2021年供应商奖

PVA TePla AG (ISIN DE0007461006)的100%子公司PVA Crystal Growing Systems GmbH荣获世创电子材料公司颁发的2019/2020年度2021年供应商奖。世创电子材料每年都会通过这一奖项来表彰表现优异并本着合作精神进行合作的供应商,特别是在质量、技术和产品供应方面。

参展商: PVA Crystal Growing Systems GmbH

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PVA TePla AG升至S-DAX指数--对未来充满期待

位于韦滕贝格的PVA TePla AG(FWB:TPE)已跃升至S-DAX指数,并从2021年9月20日起在该板块上市,法兰克福的德意志交易所。该公司是一家重要的半导体行业设备生产商,特别是在质量检测和晶圆生产的晶体生长领域。PVA TePla AG的股票市值目前约为7.4亿欧元,其中86%的股票按照德国交易所的标准与指数选择有关,即所谓的自由流通量。S-DAX由70只股票组成,根据自由流通股的市值排名,它们紧随M-DAX股票。

参展商: PVA Crystal Growing Systems GmbH

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SONOSYS®提供全球第一款兆声波三喷嘴

SONOSYS®在今年引入全球第一款兆声波三喷嘴。这种全新的、创新的喷嘴能够携带三种频率,频率范围从1MHz到9MHz,能够清洗去除更小的颗粒(小到几纳米),几乎对图形没有损伤。这种新的喷嘴是现有的单喷嘴和双喷嘴的补充。

参展商: SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH

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半导体制造中的压力变送器:必须满足超高纯要求

纯净在超高纯压力变送器的生产过程中,为了避免污染,必须保证尽可能高的洁净度。基于此,我们在符合ISO 5标准的洁净室中制造用于半导体生产的传感器,并先后使用蒸馏水和异丙醇进行双重清洗,以去除生产残留物。在进行干燥后,再次使用超纯气体进行冲洗。随后,对仪表进行双重包装,以确保压力变送器能够以无污染状态进入客户的洁净室。密封性由于采用了精心控制的轨道焊接工艺,整个超高纯产品系列泄漏率非常低。为进行验证,所有仪表均需经过氦泄漏测试,并重点关注超高纯压力变送器和应用之间的连接处,尤其是密封处。基于纯度方面的要求,传统的聚合物密封并不能满足条件。这种密封无法避免气体逸出,进而会造成过程污染。我们选择带有唇形密封的螺纹连接,并在唇形密封之间放置一个金属密封件。由于金属密封件由比螺纹连接本身更软的材料制成,因此可适应唇形密封的轮廓。基于此,可保证过程连接的安全性。材料由于半导体生产对纯度有一定要求,因此超高纯压力变送器必须保持相应的表面质量。而这主要通过使用特别均匀且无夹杂物的不锈钢来实现。这种被称为“双熔体”的材料通过在真空下熔化来获得高质量性能。电抛光工艺可确保接液部件表面光滑、均匀。为实现该目的,我们将工件置于电解质溶液中,并作为阳极连接。这一电化学反应具有双重作用:进行材料去除,并形成平均表面粗糙度≤13µm的表面。同时,形成氧化层,使表面钝化。不锈钢部件的耐腐蚀性和耐点蚀性也随之增强。

参展商: WIKA China

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