SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH

www.sonosys.de

SONOSYS®可提供单晶圆与批次工艺上, 频率范围从400千赫至 9兆赫等各种高复杂性超声波/兆声波系统.

关于我们

SONOSYS®致力于单晶圆与批次工艺上, 频率范围从400千赫至 9兆赫等各种高复杂性超声波/兆声波系统的开发, 制造和分销. SONOSYS®超声波/兆声波系统提供高效率去除小至纳米级存在于表面易碎的基材如硅晶圆, 平面显示屏, 掩模, 微系统或LIGA-Technique中的特殊部件上的颗粒. 主要市场: • 半导体 • 微米/纳米级技术 • 微机电 • 硬盘 • 光伏 • 光学工业 • 食品工业 • 声化学 • 研究机构 主要应用: • 颗粒去除 • SC1 清洗 • 光刻胶去除 • 湿蚀刻 • CMP后道清洗 • 声化学增强 SONOSYS® 既有产品: • 兆声波槽 • 发振板 • 沉入式发振器 • 面向式发振器 • 单喷头/双喷头 兆声波发振器 • 帘幕式发振器 • 兆声波发振源 • 兆声波雾化器

地址
SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH
Daimlerstr. 6
75305 Neuenbürg
Germany

电话: +49 7082 791840
传真: +49 7082 7918499
网址: www.sonosys.de

联系人

Ralf Emberger
电话: +49 7082 7918418
Steven Huang (黄成)
销售工程师
电话: +86 1580 2880790
代表
ASTRONICS TECHNOLOGIES PRIVATE LTD
No 86. 1st Section Renmin Nan Road
610016 Chengdu
P. R. China

电话: +86 28 83352813
网址: www.astronics.sg

展示产品

SONOSYS®超声波/兆声波系统提供高效率去除小至纳米级存在于基材, 半导体硅晶圆, 平面显示屏, 掩模, 微系统及LIGA上的颗粒.
既有产品: 发振板, 浸泡式发振器, 面向式发振器, 单喷头/双喷头 兆声波发振器, 帘幕式发振器,兆声波雾化器, 及小型模块化最高至2000瓦的兆声波发振源

单喷头与双喷头
兆声波单喷头与双喷头 (400千赫~9兆赫可选)可将声波传送至流体及其表面, 藉由最高35瓦的功率输出, 集中于仅4毫米直径的点, 进行非接触式的高效清洗, 双喷头可搭载两种不同频率进行颗粒大小范围较广的颗粒去除.

沉入式发振器
400千赫~ 2兆赫
SONOSYS®沉入式发振器可使用于各种容器与介质并具有最大的使用弹性, 不锈钢本体披覆PVDF抗化性, 可做成4", 6", 8" 晶圆大小的有效面积, 适应不同频率及最高输出功率至2000瓦以满足多种应用及架构.

兆声波单/双/三喷嘴

兆声波单/双/三喷嘴(400kHz to 9MHz)将声波传输到流动的水及其表面。在非接触清洗过程中,高达35W的功率集中在直径只有4毫米的水柱上,达到一个非常好的清洗结果。双喷嘴携带两种不同的频率,能够去除更大范围的颗粒尺寸。

兆声波喷嘴适用于清洗单片晶圆、掩膜版、LCD屏以及基板。

沉入式发振器

SONOSYS®沉入式发振器可使用于各种容器与介质并具有最大的使用弹性, 不锈钢本体披覆PVDF抗化性, 可做成4", 6", 8" 晶圆大小的有效面积, 适应不同频率及最高输出功率至2000瓦以满足多种应用及架构.

新闻和创新

SONOSYS®提供全球第一款兆声波三喷嘴
SONOSYS®在今年引入全球第一款兆声波三喷嘴。这种全新的、创新的喷嘴能够携带三种频率,频率范围从1MHz到9MHz,能够清洗去除更小的颗粒(小到几纳米),几乎对图形没有损伤。这种新的喷嘴是现有的单喷嘴和双喷嘴的补充。 阅读更多的内容

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