ALPHA PLASMA Vertrieb Plasma Systeme

展位号 2583

www.alphaplasma-asia.com

ALPHA PLASMA提供用于晶圆去胶(光刻胶干法去胶/灰化)设备和IC封装领域晶圆活化,基板清洗设备。我们的设备涵盖半自动,全自动全系列机型。

关于我们

ALPHA PLASMA是一家德国微波等离子体系统的供应商,主要用于半导体晶圆制造和封装领域的等离子去胶和等离子清洗。我们在微流控芯片,光模块,PCBA方面也有非常丰富的等离子处理经验。

长期的销售,制造,工艺方面的的经验使ALPHA PLASMA快速成为电子/半导体领域理想合作伙伴。

ALPHA PLASMA的合作伙伴遍布全球,特别是在东南亚和中国。我们在新加坡设立ALPHA亚洲分公司,在中国上海和成都设立销售和技术服务中心,为国内客户提供最优质的产品和服务。

地址
ALPHA PLASMA Vertrieb Plasma Systeme
Gewerbepark Markfeld 13
83043 Bad Aibling
Germany

电话: +49 8061 937929-0
传真: +49 8061 937929-8
网址: www.alphaplasma-asia.com

联系人

Gavin Wang (王关云)
产品经理
电话: 13402064453
WALLACE LIM
总监
电话: 13816790755
代表
ALPHA PLASMA ASIA PTE. LTD.
50, Ubi Avenue 3, #05-17 Frontier
408866 Singapore
Republic of Singapore

电话: +65 6258 0023
传真: +65 6258 4655
网址: www.alphaplasma-asia.com
Astronics Technologies Pte. Ltd.
No.86, 1st Sec., South Renmin Road
Chengdu 610016, SiChuan
P. R. China

电话: +86 28 83352813
网址: www.astronics.sg

展示产品

在SEMICON CHINA 2021上,ALPHA PLASMA展示其微波等离子体工艺和解决方案的组合。我们将讨论等离子去胶机在晶圆干法去胶的应用及等离子体清洗在高级IC模组和LED封装中的应用。
展出新的升级版微波等离子系统ASTRO PACTO。该系统非常适合金属外壳、光通信模块(如特殊的100G设备)、红外传感器组件以及电子设备的其他关键表面的精密清洗去胶工艺。ASTRO PACTO也是MEMS和传感器设备和应用的全光谱表面预处理的理想选择。大尺寸的生产系统AL 76 Compact也满足所有的工艺要求。全自动装卸系统也可供讨论。ALPHA PLASMA的一个非常强的点是Q型石英室系列,设计为无损伤晶圆处理: 打底膜和光抗胶去除。

ALPHA ASTRO PACTO 是我们最新机型,它具有独特设计具备手动和全自动处理系统版本,可以用于晶圆和芯片封装应用。具有直接接触加热和冷却台盘,这系统非常适合用于需要精确温度控制的晶圆处理工艺。配置机械手臂的全自动系统可以处理最大12寸晶圆。针对于芯片封装,该系统最大支持一次处理9片100mm宽的框架。这个ASTRO PACTO也适合集成到in-line 产线中。

ALPHA PLASMA Q系列产品主要包括批处理式的微波等离子去胶机,可以快速且无害的去除光刻胶。Q 235 就是该 ALPHA 产品系列中的一员,以它为例进行说明。Q系列产品无与伦比的特性之一就是可以满足大多数在Descum过程中对一致性的严格要求。它同样具有可快速去除光刻胶的标准特性。除此之外,当Alpha Plasma Q系列产品配置一个晶圆用的加热卡盘时,它同样可用于单片晶圆的其他苛刻应用,比如PI去除等。

ALPHA PLASMA 产品系列中的 AL 76 Compact 真正是微波等离子清洗机中的全能型产品。它拥有独特的能力,无论是用它清洗高亮度LED,还是清洗MEMS或者其他小众产品的晶圆都可胜任。当配置Alpha独有的ECR功能时, AL 76 Compact可以在封装产线上7天24小时全天候大批量生产。当配置适用晶圆的加热卡盘或制冷卡盘时,它可以用来去除MEMS制造技术中应用的SU-8或者其他种类的厚胶,并且拥有无与伦比的去除一致性和去除速率。

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