PVA Crystal Growing Systems GmbH

展位号 2774

www.pvatepla-cgs.com

凭借超过一千台设备的安装及使用经验,以及先进技术的深厚积累,我们致力于为专业客户在高纯单晶制备领域提供产品及服务.

关于我们

凭借超过一千台设备的安装及使用经验,以及先进技术的深厚积累,我们致力于为专业客户在高纯单晶制备领域提供产品及服务.

地址
PVA Crystal Growing Systems GmbH
Im Westpark 10 –12
35435 Wettenberg
Germany

电话: +49 641 68690-0
传真: +49 641 68690-800
网址: www.pvatepla-cgs.com

联系人

Tanja Guckelsberger
Kevin Fredriksen
代表
PVA Semiconductor Systems (Xi An) Co., Ltd.
No.385, Hangtian Zhong Road Zhongchuang Plaza 1103
710100 Xi An
P. R. China

电话: +86 29 8968 7501
传真: +86 29 8968 7501
网址: www.pvatepla.com
PVA SPA Software Entwicklungs GmbH
Seifartshofstr. 12 – 14
96450 Coburg
Germany

电话: +49 9561 79470
传真: +49 9561 794777
网址: www.pvatepla-spa.com

展示产品

Czochralski systems:
柴氏单晶制备系统

- SC32
用于制备12英寸单晶硅棒,采用模块化设计,可适配磁场

- CGS1218
用于制备12~18英寸单晶硅棒,采用模块化设计,硬轴软轴解决方案,可适配磁场

Float Zone systems:
区熔炉系统

- FZ30
用于制备8英寸单晶硅棒,硅棒长度可达2000毫米

Physical Vapor Depositon systems:
物理气相沉积晶体生长系统:

- baSiC-T SiCma400/600
用于制备4~6英寸碳化硅晶棒,通过低能耗优化感应线圈进行加热,占地面积小,具备高自动化程度

光学检查技术:
-EBIS可在10秒内在晶圆背面分辨大于50µm的可视缺陷
-UL2061A自动化显微镜,用于3“-8”晶圆质量控制
-BT12自动化显微镜,用于6“-12”晶圆质量控制
-MIx自动化显微镜,用于框架式3英寸-12英寸晶圆锯切质量控制

自动化软件:
-用于SECS GEM300的PDG PVA数据网关
-带有金色成像检测的AOI Checker
-用于车间数据管理的SPAwn晶圆布局网络
baSiC-T SiCma400/600碳化硅炉

该系统被设计用于通过物理气相传输法(PVT)制备碳化硅(SiC)晶体。 该系统使用了千赫兹范围内的感应线圈,旨在尽可能地降低能耗。 基板可用尺寸为4英寸-6英寸。 由于高自动化程度和紧凑的占地面积,使得该系统极为适合大批量生产目的。此外制造商还可提供移动式加料车以及其它模块化选件-例如 真空泵组和测量设备等。

SC32柴氏法单机炉

我们先进的Czochralski工艺单晶炉用于批量生产最大直径为12“的硅晶体。模块化配置使该系统可以根据客户的需求进行量身定制。因此,对该系统可以进行各种外延配备,例如适配磁场。

UL2061A

我们的通用装载式显微镜系统最大可检测12英寸的光学晶圆,并具有可延展的自动化功能和快速反馈回路,以满足客户工艺团队的各种技术要求。同迷你环境以及SMIF / FOUP盒式载具兼容,可达到至ISO3的高洁净室标准。

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