!! STORNO !! ProTec Carrier Systems GmbH

展位号 2676

www.protec-carrier.com

关于我们

ProTec ® - 世界领先的可移动式静电夹盘解决方案专家. 多年来,ProTec ® 在独特的夹盘解决方案方面积累了丰富的经验,始终坚持为客户提供最大利益. 在标准设备上支持易碎、昂贵或超薄基板材料的工艺加工. 通过静电力,夹盘可固持各种类型的基板,例如玻璃、薄膜、硅等. 基板完全从背面固持,因此整个正面可以进行加工. 我们的 T-ESC 技术是一种无胶粘剂临时接合方法,广泛应用于半导体和显示器行业,例如:用于超薄和易碎晶圆持取. 产生的力均匀并且完全受控,因此成为易碎基板上应力最小的夹具. 我们的客户包括行业领导者和来自各行各业的全球知名研究机构,例如半导体以及玻璃和显示器应用领域的化合物半导体(GaAs、InP、LT、LN、SiC 等)、电源、MEMS、3D IC,涵盖玻璃涂层、光学接合和 OLED 制造.

展示产品

ProTec®的产品ESC 和 T-ESC® 给新的或已在线的设备提供先进的基板夹持的解决方案。这些方案可以降低生产成本并且能将新工艺轻松地集成到现有的生产线上,如薄玻璃的涂敷,不需要附加材料的临时键合,夹持易碎或敏感的基板材料等等。 对于易碎基板的加工可以达到非常高的成品率,不管是in -line加工还是用Cluster设备。

• 无黏结材料的临时键合/解键合设备。科研型每小时20片,生产型每小时120 片晶圆。
• 对于易碎基板提供可移动的 T-ESC® -静电夹具。
• 用户特制的静电夹具,适用不同的工艺应用。
• 带集成静电压检测装置的夹具,适用于in-line(真空条件下)生产工艺。

地址
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Birlenbacher Str. 19 – 21
57078 Siegen
Germany

电话: +49 271 89041-0
传真: +49 271 89041-19
网址: www.protec-carrier.com
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联系人

Sebastian Wagner
Managing Director
电话: +49 174 8837870
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代表
Wuxi Micro-Power S&T Co. Ltd.
清扬路路 12 号
214035 邮编
中国无锡市


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Hypersonic Inc.
No. 209, Sec.2, Chung-Hwa Rd., Chung-Li
32068 Taoyuan
Taiwan R.O.C.


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